独立行政法人 産業技術総合研究所ユビキタスエネルギー研究部門 ダイヤモンドデバイス化研究グループ 杢野 由明 研究グループ長、加藤 有香子 主任研究員、鹿田 真一 総括研究主幹らは、ダイレクトウエハー化技術により、転位など欠陥の極めて少ない気相合成単結晶ダイヤモンドウエハーを作製できるダイヤモンドウエハーの低欠陥コピー技術を実証した。

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