産業技術総合研究所、半導体型単層カーボンナノチューブを選択的に合成する技術開発に成功-最大98%の高い選択率を実現-

(2014.02.13 11:05)

 独立行政法人産業技術総合研究所ナノチューブ応用研究センター畠賢治 首席研究員、スーパーグロースCNTチーム 桜井俊介 主任研究員らは、最先端研究開発支援プログラム(FIRST)のプロジェクト「グリーン・ナノエレクトロニクスのコア技術開発」の一環で、半導体型単層カーボンナノチューブ(CNT)を選択的に成長させる技術を開発し、さらに半導体型単層CNTの選択率向上による薄膜トランジスタの特性向上を実証した。
 
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