独立行政法人 産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センターライフインターフェース研究チーム小林健主任研究員は、大日本印刷株式会社研究開発センター 次世代MEMS研究所森脇政仁研究員、瓜生敏文研究員と共同で、圧電薄膜であるチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3、PZT)薄膜を用いた圧電MEMSデバイスの200mmウエハープロセス技術を開発した。
 
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